半導体向けの特殊ポリマー

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高機能製品

プラントサポートシステム

流体システム

送液、貯蔵、ろ過、およびプロセスは、流体システムに不可欠な手順の一部です。高活性の化学薬品や極端な温度に耐える、より優れた特性を備えたフッ素系樹脂は、半導体産業でコーティングやライニング材料として広く使用されています。ソレフ® PVDFヘイラー® ECTFEアルゴフロン® PFAアルゴフロン® PTFE は、バルブ、フィッティング、パイプ、タンク、容器、メンブレン、および熱交換器の主要部品向けとして指定されています。

プロセス排気ダクト

ヘイラー® ECTFE は、半導体業界において傑出した結果をもたらします。この製品は、排気ダクト、容器、および加工装置のコーティングやライニングの材料として使用されています。 ヘイラー® ECTFE によるパウダーコーティングは、防火安全規格 FM4922 への適合が要求される排気ダクトシステムの防火安全処理および耐腐食処理で成功を収めています。 ヘイラー® ECTFE で塗装された排気ダクトは傑出した表面平坦性を持つため、汚染物質の付着や腐食のリスクが低減されます。

廃棄物処理

半導体の製造で生じる廃棄物の輸送では、化学薬品、ガス、スラリー、その他の製造で発生した液体を、製造施設から収集、前処理、リサイクル、または廃棄が行われる施設まで輸送します。

半導体製造の廃棄物と見なされる物質は、腐食性、引火性、反応性、毒性を有する可能性があります。フッ素系樹脂は、エッチング、剥離、洗浄の各プロセスに使用される酸に対する耐薬品性と強度が優れており、またスラリーや廃液に対する耐摩耗性も優れています。ソレフ® PVDFヘイラー® ECTFEアルゴフロン® PFA および アルゴフロン® PTFE で製造された、またはコーティングされたパイプや継手、バルブ、その他の部品は、廃棄物処理システムの信頼性に寄与します。

熱衝撃試験

熱衝撃試験は、温度の急激な変化に対する電子機器の耐性を確認する目的で実施されます。この試験では、二つの異なる温度に保持された液体に、電子機器を交互に浸漬します。

防衛用途向けの熱衝撃試験は、MIL STD 883 method 1011、または MIL STD 202 method 107 の規定に従って実施されます。

従来、高温槽と低温槽にはそれぞれ異なる 2 種類の流体が使用されていましたが、この方法には課題があります。

ガルデン® PFPE 流体は低温および高温で機能し、この流体により一液で使用可能で、二液系と比較して優れた特徴があります。

両方の液槽に単一流体を使用することにより、流体の消費量減少、装置のダウンタイム短縮、クロスコンタミネーションの回避、在庫量の減少など、運用コストを大幅に削減できます。

ガルデン® PFPE D02TS と D03 は、二液系方式からの置き換えに対応できるフッ素系流体です。

ガルデン® PFPE D02TS は、防衛用途向けであり、MIL STD 883 と MIL STD 202 に適合しています。非防衛用途には、ガルデン® PFPE D03 を使用可能です。

MIL STD 883 適合の熱衝撃試験用ガルデン® PFPE 流体

試験条件高温ステップ 
[°C]
低温ステップ 
[°C]
高温槽
液体
低温槽
液体
B+125-55D02
D02TS
DET
D02TS
C+150-65D02
D02TS
DET
D02TS
D+200-65D05DET
E+150-195D02
D02TS
液体窒素
F+200-195D05液体窒素

気密性試験

水分の透過、およびシリコンチップの電気的動作の阻害を防止するために、電子機器を完全に密封する必要があります。機器の気密性を確保する目的で、MIL STD 883、MIL STD 750、および MIL STD 202 にリーク試験が規定されています。

ガルデン® PFPE 流体は非常に不活性であり、残渣を生じないので、リーク試験の検出媒体および指示媒体として最適であり、広く使用されています。

ガルデン® PFPE DETは、より信頼性を高く設計された検出媒体です。低沸点/高沸点成分が非常に優れたバランスで配合されているので、大きいリークおよび小さいリークのどちらも容易に検出できます。高沸点成分は大きいリーク部に対して、低沸点成分は小さいリーク部を容易に通過します。

ガルデン® PFPE D02 は防衛用途、D03 は非防衛用途に活用できる低消費量の検出媒体であり、高い沸点を持ち、試験温度で低い蒸気圧を示します。

MIL STD 適合のグロスリーク試験用ガルデン® PFPE 流体

流体のタイプタイプ I
検出流体
タイプ II
指示流体
タイプ III 
検出流体
試験条件C1, C3C1E
ガルデン® 流体DETD02DET

気相はんだ付け流体

水分の浸入、およびシリコンチップの電気的動作の阻害を防止するために、電子機器は完全に密封する必要があります。機器の気密性を確保する目的で、MIL STD 883、MIL STD 750、および MIL STD 202 にリーク試験が規定されています。

ガルデン® PFPE 流体は非常に不活性であり、残渣を生じないので、リーク試験の検出媒体および指示媒体として最適であり、広く使用されています。

ガルデン® PFPE DET 検出流体は、より信頼性を高く設計された検出媒体です。低沸点/高沸点成分が非常に優れたバランスで配合されているので、大きいリークおよび小さいリークのどちらも容易に検出できます。高沸点成分は大きいリーク部に対して、低沸点成分は小さいリーク部を容易に通過します。

ガルデン® PFPE D02 は防衛用途、D03 は非防衛用途に活用できる低消費量の検出媒体であり、高い沸点を持ち、試験温度で低い蒸気圧を示します。

チップ試験

スパイア® ウルトラポリマーの製品ラインナップは、高温での高い強度と剛性、寸法安定性、耐薬品性、耐疲労性、耐摩耗性などの比類なき性能特性を兼ね備えており、高温プロセスへの適合性も有します。 

これらの超高機能性樹脂は、寸法安定性、耐摩耗性、耐薬品性、および高温加工が要求される半導体産業全体で使用できます。高い強度と剛性、および長寿命の性能により、IC 試験装置のソケットやハンドラーに使用されている金属部品の代替品として効果的です。

これらの製品は素形材でも用意されており、そのまま厳しい公差で切削加工できます。

代表的な用途

  • チップ担体
  • 試験ソケットおよびバーンインソケットの部品
  • ベアリング
  • ブッシュ
  • メカニカルファスナー

アバスパイア® PAEK –  性能と価値の独自の組み合わせを新たに提供できるように開発された多様な製品ラインナップです。

キータスパイア® PEEK – 卓越した耐薬品性、250℃までの機械特性、さらに低い粒子発生量、低いガス放出、およびクラス最高の耐疲労性を示します。

トーロン® PAI – 傑出した耐摩耗性、高い強度と剛性強度(275℃まで)、優れた耐クリープ性、耐摩耗性、耐薬品性を兼ね備えています。低い熱線膨張率と高い絶縁性を示し、切削加工した熱硬化性ポリイミドよりも低コストです。

半導体の製造

フッ素系樹脂は、ウエハー加工装置、クリーニングツール、およびウェットベンチに要求される耐薬品性および耐熱性の厳しい基準に適合します。ヘイラー® ECTFE は、クリーンルーム排気ダクトシステムの構造材料およびコーティングとして幅広く使用されています。ソレフ® PVDF は押出しまたは金型成形され、継手、バルブ、各種の構成部品、および加工装置で使用されています。アルゴフロン® PTFE 完全フッ素化ポリマーは、傑出した耐食性と純度を持ち、各種部品やコーティングに適しています。

ガルデン® PFPE 流体は、ドライエッチング装置、イオン注入装置、リソグラフィーステッパー、および化学蒸着(CVD)など、IC 製造装置の熱媒体として幅広く使用されています。フォンブリン® PFPE 潤滑剤は、ドライエッチングや CVD などのウエハー製造工程の真空ポンプオイルに最適です。

テクノフロン® FKM および FFKM から製造されたシーリングは、重要な部位で使用され、プロセスの信頼性と長寿命を実現します。

リソグラフィ、蒸着、エッチング、洗浄向けの熱媒体

加工冷却液の主な目的は、材料の破損を防止する目的でウエハーを一定温度に制御したり、保持したりすることです。

ガルデン® PFPE HT は、沸点の範囲が 55~270℃の熱媒体です。優れた絶縁性と高い化学安定性を備え、非常に低温および高温で性能を発揮することから、半導体産業および電子産業の過酷な条件に最適な熱媒体です。

ガルデン® PFPE HT 流体は、熱交換器に一般的に使用される多くの材料との適合性を有します。ガルデン® PFPE を使用するシステムは、腐食が発生せず、ほとんどメンテナンスを必要としません。ガルデン® PFPE の絶縁性は変化せず、ショートの危険がありません。環境を破壊しないガルデン® PFPE は無毒性で、引火点、発火点、爆発性がなく、漏れが発生した場合に電子機器を破損しません。

ガルデン® PFPE:使用温度範囲

UHB

マイクロリソグラフィ向けのフィルムおよびコーティング

アルゴフロン® AD 非晶性パーフルオロポリマーは、溶液加工用に、厚さがサブミクロンレベルの均一で薄いフィルムやコーティングを提供できます。以下にマイクロリソグラフィ用途として重要な特性を示します。

  • 高温安定性
  • 良好な耐薬品性
  • 優れた疎水性
  • 非常に低い表面エネルギー
  • 低い誘電率
  • 非常に高いガス透過性および選択性
  • 卓越した光学特性(高い UV 透過率、低い屈折率)

真空ポンプの潤滑

フォンブリン® PFPE フッ素系流体は、厳しい化学環境や、広い温度範囲の使用条件で卓越した性能を有します。フォンブリン® PFPE Y LVAC および Y HVAC グレードは、特に活性の高いガスに曝される環境で使用される真空ポンプのシーリングおよび潤滑油として最適です。フォンブリン® PFPE Y HVACは、狭い分子量分布、および極めて低い蒸気圧と粘度特性を兼ね備えています。

フォンブリン® PFPE VAC 製品ラインナップは、化学的に不活性であり熱安定性(290℃まで)を備えています。防錆/耐摩耗性を付与できます。これらの特長により、ウエハー加工を含む過酷な環境で使用される真空ポンプの潤滑に最適です。

特長

  • 熱安定性
  • 化学的に不活性
  • 不燃性
  • 無毒性
  • 金属、プラスチック材料との適合性

摺動部品

スパイア® ウルトラポリマーの製品ラインナップは、高温での高い強度と剛性、寸法安定性、耐薬品性、耐疲労性、耐摩耗性などの比類なき性能特性を兼ね備えており、高温加工への適合性も有します。

これらの超高機能性樹脂は、寸法安定性、耐摩耗性、耐薬品性、および高温プロセスが要求される半導体産業全体で使用できます。高い強度と剛性、および長寿命の性能により、ウエハー処理、プロセス容器、部品搬送装置、および IC 試験装置のソケットやハンドラーに使用されている金属部品の代替品として効果的です。

これらの製品は素形材でも用意されており、そのまま厳しい公差で切削加工できます。

代表的な用途

  • ウエハー輸送システム部品
  • プロセス容器および部品
  • CMP リング
  • ダイヤモンド研磨パッド

アバスパイア® PAEK –  性能と価値の独自の組み合わせを新たに提供できるように開発された多様な製品ラインナップです。

キータスパイア® PEEK – 卓越した耐薬品性、250℃までの機械特性、さらに低い粒子発生量、低いガス放出、およびクラス最高の耐疲労性を示します。

トーロン® PAI – 傑出した耐摩耗性、高い強度と剛性強度(275℃まで)、優れた耐クリープ性、耐摩耗性、耐薬品性を兼ね備えています。低い熱線膨張率と高い絶縁性を示し、切削加工した熱硬化性ポリイミドよりも低コストです。

Semicon_SuperiorWearResistance