アルゴフロン® AD

半導体およびメンブレン用途向けの特殊な非晶性パーフルオロポリマー

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アルゴフロン® AD は非晶性パーフルオロポリマーの製品ラインであり、半結晶性パーフルオロポリマーと同様の特性を示します。

特長

  • 高温安定性
  • 良好な耐薬品性
  • 優れた疎水性
  • 非常に低い表面エネルギー
  • 低い誘電率
  • 非常に高いガス透過性および選択性
  • 卓越した光学特性(高い UV 透過率、低い屈折率など)

加工

アルゴフロン® AD ポリマーの主な特徴は、特定の溶剤に溶解することです。特に完全フッ素化溶媒への高い溶解性と低い溶融粘度を持つため、アルゴフロン® AD は溶液加工技術に最適です。

アルゴフロン® AD は、一般的なキャスティングもしくはコーティング技術を用いて、薄いフィルムもしくはコーティング(サブミクロンレベルの厚さまで)を製造することが可能です。キャスティングもしくはコーティング工程においては、半結晶性パーフルオロポリマーの一般的な焼成温度よりも非常に低い温度にて熱処理が可能です。

用途

半導体

アルゴフロン® AD は、その独自の特性を利用して電子用ペリクル(マイクロリソグラフィー)の製造に使用されています。

  • 卓越した光学特性
  • 非常に低い表面エネルギー
  • 非常に低い誘電率
  • 均一な薄い(サブミクロンの厚みまで)フィルム/コーティングを製造可能
  • 溶液状態での加工技術(スプレー、キャスティング、スピンコーティング)に適合
  • 完全フッ素化溶媒への溶解性(溶液の粘度が低い)

メンブレン

次のような特性を持つことから、アルゴフロン® AD はガス分離用メンブレンの製造に適しています。

  • 非常に高いガス透過性および選択性
  • 優れた疎水性
  • 高温安定性
  • 均一な薄い(サブミクロンの厚みまで)フィルム/コーティングを製造可能
  • 溶液状態での加工技術(スプレー、キャスティング、スピンコーティング)に適合
  • 完全フッ素化された溶媒への溶解性(溶液の粘度が低い)

主要特性

特性 AD 40AD 60
密度g/cm31.981.93
Tg95125
屈折率 1.3311.327

Technical Data Sheets