半導体およびメンブレン用途向けの特殊な非晶性パーフルオロポリマー
アルゴフロン® AD は非晶性パーフルオロポリマーの製品ラインであり、半結晶性パーフルオロポリマーと同様の特性を示します。
特長
- 高温安定性
- 良好な耐薬品性
- 優れた疎水性
- 非常に低い表面エネルギー
- 低い誘電率
- 非常に高いガス透過性および選択性
- 卓越した光学特性(高い UV 透過率、低い屈折率など)
加工
アルゴフロン® AD ポリマーの主な特徴は、特定の溶剤に溶解することです。特に完全フッ素化溶媒への高い溶解性と低い溶融粘度を持つため、アルゴフロン® AD は溶液加工技術に最適です。
アルゴフロン® AD は、一般的なキャスティングもしくはコーティング技術を用いて、薄いフィルムもしくはコーティング(サブミクロンレベルの厚さまで)を製造することが可能です。キャスティングもしくはコーティング工程においては、半結晶性パーフルオロポリマーの一般的な焼成温度よりも非常に低い温度にて熱処理が可能です。
用途
半導体
アルゴフロン® AD は、その独自の特性を利用して電子用ペリクル(マイクロリソグラフィー)の製造に使用されています。
- 卓越した光学特性
- 非常に低い表面エネルギー
- 非常に低い誘電率
- 均一な薄い(サブミクロンの厚みまで)フィルム/コーティングを製造可能
- 溶液状態での加工技術(スプレー、キャスティング、スピンコーティング)に適合
- 完全フッ素化溶媒への溶解性(溶液の粘度が低い)
メンブレン
次のような特性を持つことから、アルゴフロン® AD はガス分離用メンブレンの製造に適しています。
- 非常に高いガス透過性および選択性
- 優れた疎水性
- 高温安定性
- 均一な薄い(サブミクロンの厚みまで)フィルム/コーティングを製造可能
- 溶液状態での加工技術(スプレー、キャスティング、スピンコーティング)に適合
- 完全フッ素化された溶媒への溶解性(溶液の粘度が低い)
主要特性
特性 | AD 40 | AD 60 | |
密度 | g/cm3 | 1.98 | 1.93 |
Tg | ℃ | 95 | 125 |
屈折率 | 1.331 | 1.327 |
Technical Data Sheets
アルゴフロン® AD 製品のグレード |
アルゴフロン® AD 40H |
アルゴフロン® AD 40L |
アルゴフロン® AD 60 |