アルゴフロン® AD

半導体およびメンブレン用途向けの特殊な非晶性パーフルオロポリマー

アルゴフロン® AD は非晶性パーフルオロポリマーの製品ラインであり、半結晶性パーフルオロポリマーと同様の特性を示します。

特長

• 高温安定性
• 良好な耐薬品性
• 優れた疎水性
• 非常に低い表面エネルギー
• 低い誘電率
• 非常に高いガス透過性および選択性
• 卓越した光学特性（高い UV 透過率、低い屈折率など）

加工

アルゴフロン® AD ポリマーの主な特徴は、特定の溶剤に溶解することです。特に完全フッ素化溶媒への高い溶解性と低い溶融粘度を持つため、アルゴフロン® AD は溶液加工技術に最適です。

アルゴフロン® AD は、一般的なキャスティングもしくはコーティング技術を用いて、薄いフィルムもしくはコーティング（サブミクロンレベルの厚さまで）を製造することが可能です。キャスティングもしくはコーティング工程においては、半結晶性パーフルオロポリマーの一般的な焼成温度よりも非常に低い温度にて熱処理が可能です。

用途

半導体

アルゴフロン® AD は、その独自の特性を利用して電子用ペリクル（マイクロリソグラフィー）の製造に使用されています。

• 卓越した光学特性
• 非常に低い表面エネルギー
• 非常に低い誘電率
• 均一な薄い（サブミクロンの厚みまで）フィルム／コーティングを製造可能
• 溶液状態での加工技術（スプレー、キャスティング、スピンコーティング）に適合
• 完全フッ素化溶媒への溶解性（溶液の粘度が低い）

メンブレン

次のような特性を持つことから、アルゴフロン® AD はガス分離用メンブレンの製造に適しています。

• 非常に高いガス透過性および選択性
• 優れた疎水性
• 高温安定性
• 均一な薄い（サブミクロンの厚みまで）フィルム／コーティングを製造可能
• 溶液状態での加工技術（スプレー、キャスティング、スピンコーティング）に適合
• 完全フッ素化された溶媒への溶解性（溶液の粘度が低い）

主要特性

 Technical Data Sheets